1、内漏多发生在有水冷套的设备上，查外漏没有发现疑点，但是却有以下现象：机械空气弹簧的抽速明显偏低、真空计示值低、机械空气弹簧油很快乳化、真空室内的铁基零部件明显锈蚀。具备以上条件基本可以确定有内漏。先把内壁清理干净，再通冷却水，看有无湿润点，湿润处就是漏点。
2、小漏和微漏就比较难查了，大家常用的方法是利用在高真空状态下电离管对某些气体反应敏感来检漏，比如丙酮或乙醇，用医用注射器向可疑的地方喷射丙酮或乙醇，喷到漏点时，电离计的指针会有明显摆动。用这种方法检漏一定要有耐心，一定要等到电离计的示值稳定了也就是真空机组的抽气能力和漏率平衡了，然后再喷射。最好是反复几次，确认漏点。
3、较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，比如用蜡烛或打火机在可疑点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。