美光(MicronTechnology)半导体设备空气隔振器调压阀的工作原理及基本性能

美光半导体设备空气隔振器调压阀有多种多样结构类型。过去常见的有膈膜式、内弹簧活塞机等。调压阀的基础原理是根据阀内过流道对流水的部分摩擦阻力来减少压力。

一、空气隔振器调压阀的原理：

当调压阀导出工作压力高或规格大，选用变压弹簧立即调整工作压力时，弹簧弯曲刚度务必太大。当流量转变时，导出工作压力起伏特别大，闸阀的结构规格也会提高。为了方便处理，能够应用先导式减压阀。先导式减压阀的基本原理与直移动式基本一致。先导式减压阀运用的变压气体由中小型直移动式调压阀供货。假如将中小型直移动式调压阀安装于阀身体中，则称作内部构造调压阀；假如中小型直移动式调压阀安装在主阀体外界，则称作外调压阀。

设定器是一种空气隔振器调压阀，适用于工作压力设定。现阶段压力表有二种：空气隔振器气动阀门工作压力分别是0.14MPa和0.35MPa，导出工作压力范围各自为0-0.1MPa和0-0.25MPa。

它由三部份组成：1是直移动式调压阀的关键关闭一部分；2是恒压降设备，相当于一定的空气压力调压阀。关键功能是使喷嘴获得稳定的气流；3为喷嘴挡板设备及变压一部分，起变压和工作压力增大作用，运用其变大的标准气压操纵主阀一部分。

由于稳压电源具有设定、比较、放大功能，稳压管高精度。