半导体设备气动隔振系统液体膨胀式疏水阀工作原理

半导体设备气动隔振系统液态胀大阱简述：

半导体设备气动隔振系统液态胀大蒸汽疏水阀是控温蒸汽疏水阀试验中采用的环保型蒸汽疏水阀。其特点是：身型小、重量较轻、不怕冻、能系统排气管、可安装在随意位置；背压式率超过百分之80，不锈钢波纹管伸缩式工作能力大，调整便捷。根据要调整运行环境温度，一般过冷度比饱和温度低18℃-40℃。

【气动隔振系统液态胀大阱的特征】

1.不锈钢板夹层玻璃金属波纹管坚固耐用，使用期限长。

2.可调整凝结水排出环境温度，运用热湿，节约资源。

3.阀前从始至终有凝结水，产生稳定的排气阀，不露汽。

4.不会受到震动、蒸汽工作压力改变和水击的危害。

5.可随意视角组装，不会受到安装方位限定，排风系统特点优。

6.结构紧凑，含有过滤系统内，组装维护保养便捷。

气动隔振系统液态胀大蒸汽疏水阀原理：

液态空调膨胀阀的构造是以不锈钢波纹管为具体作用元器件，内部结构配有气化环境温度低于水饱和温度的液体。设备运作时，管道中发生制冷冷疑液，金属波纹管内液态处在情况，阀心在弹簧弹性影响下处在开启位置。当冷疑液环境温度逐渐上升时，金属波纹管中的充液逐渐挥发胀大，气体压力扩大，形变伸展推动阀心向关掉方位运动。在凝结水做到饱和温度之前，蒸汽疏水阀关掉。