低频率的橡胶空气弹簧隔振

橡胶空气弹簧组成的低频隔振系统的设计和性能。从压印光刻机的结构可以看出，该仪器具有较高的精度空气弹簧性能，但由于外界环境的振动激发，仪器的各个部件会产生较大的相对振动，从而降低精度。系统的影响更大。这就需要采取有效的隔振措施。根据隔振要求，采用橡胶空气弹簧作为隔振装置，以达到隔绝外界振动的目的。需要橡胶空气弹簧隔离5Hz以上的振动干扰，隔振效率可达90%以上。

橡胶空气弹簧是一种气动隔振器。橡胶空气弹簧的载荷和位移特性如图1所示。在工作范围内，位移不随载荷的增加而变化，即零压缩特性。橡胶空气弹簧工作时，内腔充满压缩空气(工作压力≤0.7MPa)，形成压缩空气柱。弹簧高度降低，内腔容积降低，弹簧刚度增大，内腔气柱有效承载面积增大。当承载能力降低时，弹簧高度增加，内腔容积增加。弹簧刚度降低，内腔气柱有效承载面积降低，此时弹簧承载能力降低。在有效行程中，空气弹簧的高度、腔体体积和承载能力会随着振动载荷的波动而平稳灵活地传递。

当存在低频（5Hz~10Hz）激振力时，橡胶空气弹簧压力隔振器可以保护精密仪器部件免受低频激振力的激励。它是一种非常合适的隔振器。用于确定0.5Hz2·橡胶空气弹簧隔振传递率、刚度和系统固有频率的共振频率（即系统固有频率）。