橡胶空气弹簧电离子镀装置特点

①蒸发、离化和加速三种过程可分别独立控制。离化是靠射频激励，而不是靠加速直流电场激励，基体周围并不产生阴极暗区。

②橡胶空气弹簧在10-3~10-1Pa高真空环境下也可稳定放电工作，离化率高，可达5%-15%.提高了沉积粒子的总能蟹，改善了镀层的致密度和结晶的结构。因此制备的镀层表面缺陷及针孔少，膜层质量均匀致密，纯度高.质最好。尤其对制备氧化膜和氮化膜等化合物膜十分有利。

③易进行活性反应离子镀.合成化合物和对非金属基体沉积具有优势。

④基体沮升低.操作方便，易于控制。