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橡胶空气弹簧电离子镀装置特点


橡胶空气弹簧电离子镀装置特点
①蒸发、离化和加速三种过程可分别独立控制。离化是靠射频激励,而不是靠加速直流电场激励,基体周围并不产生阴极暗区。
②橡胶空气弹簧在10-3~10-1Pa高真空环境下也可稳定放电工作,离化率高,可达5%-15%.提高了沉积粒子的总能蟹,改善了镀层的致密度和结晶的结构。因此制备的镀层表面缺陷及针孔少,膜层质量均匀致密,纯度高.质最好。尤其对制备氧化膜和氮化膜等化合物膜十分有利。
③易进行活性反应离子镀.合成化合物和对非金属基体沉积具有优势。
④基体沮升低.操作方便,易于控制。
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橡胶空气弹簧